[发明专利]光照射装置有效

专利信息
申请号: 201010113523.9 申请日: 2010-02-03
公开(公告)号: CN101799632A 公开(公告)日: 2010-08-11
发明(设计)人: 新堀真史;铃木一好 申请(专利权)人: 优志旺电机株式会社
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 黄剑锋
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种光照射装置,在具有由框架及其隔条保持多个滤片板的滤片的光照射装置中,防止在光照射面的照度分布均匀度的降低。由光源(H)所射出的光在第1反射镜(3)进行反射,通过滤片(10)而入射至排列配置有多个矩形透镜的积分透镜(4)。滤片(10)是由框架(保持框)及以纵横形成在该框架的隔条保持矩形状多个滤片板所成。因此,该隔条将来自光源(H)的光遮光,在积分(4)上形成线状阴影而使被照射面中的照度分布形成为不均匀。因此,将滤片(10)以滤片(10)的隔条相对积分透镜(4)的各透镜的边倾斜、并且与各透镜的对角线不平行的方式进行配置。由此,可防止因隔条(10c)所形成阴影所造成的被照射面中的照度分布均匀度的降低。
搜索关键词: 照射 装置
【主权项】:
一种光照射装置,具有:光源;积分透镜,排列配置多个矩形透镜,入射来自上述光源的光,而使在光照射面的照度分布均匀;以及滤片,仅使上述光源所放射的光中的特定波长范围的光通过的,该光照射装置其特征在于:上述滤片是多个滤片板由框架及该框架的隔条保持而构成的,上述隔条是以相对上述积分透镜的上述多个透镜的边的方向倾斜、并且与上述透镜的对角线不平行的方式进行配置。
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