[发明专利]压电振子的制造方法、压电振子及振荡器无效
| 申请号： | 201010115323.7 | 申请日： | 2010-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN101807896A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 佐山清贵 | 申请（专利权）人： | 精工电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/13 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟;马建军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够通过倒装式接合可靠地安装压电振动片的压电振子的制造方法、压电振子及振荡器。压电振子具有：底基板(2)；与底基板接合的盖基板；压电振动片，其在石英片(17)的外表面上形成有激励电极(5、6)和与激励电极电连接的安装电极(7、8)；迂回电极(9、10)，其用于与压电振动片电连接；以及金属凸块(11、12)，其用于将迂回电极和安装电极电连接，所述压电振子的制造方法包括：形成迂回电极的迂回电极形成步骤；形成金属凸块的金属凸块形成步骤；以及将压电振动片的安装电极接合在金属凸块上的安装步骤，在安装步骤时，金属凸块的前端(11a、12a)安装固定在不与石英片接触的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 制造 方法 振荡器 | ||
【主权项】：
一种压电振子的制造方法，所述压电振子具有：底基板；盖基板，其与所述底基板接合，在与所述底基板之间形成腔室；压电振动片，其收纳在所述腔室内，在石英片的外表面上形成有激励电极和与该激励电极电连接的安装电极；迂回电极，其形成于所述底基板上，用于与所述压电振动片电连接；以及金属凸块，其形成于所述迂回电极上，用于将所述迂回电极和所述安装电极电连接，并且以单侧支撑状态安装所述压电振动片，其中，所述压电振子的制造方法包括如下步骤：在所述底基板上形成迂回电极，在所述迂回电极上形成所述金属凸块，将所述压电振动片的安装电极接合在所述金属凸块上，此时所述金属凸块的前端安装固定在不与所述石英片接触的位置。
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