[发明专利]液晶曝光装置无效
| 申请号： | 201010115737.X | 申请日： | 2010-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN101807007A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 渡部成夫;松山胜章;根本亮二;牧信行 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的课题是在液晶曝光装置中提供组装平台时容易定位的构造。本发明提供一种液晶曝光装置，具有：搭载工件的工件台、具有该工件台的移动机构的可动平台、具有该可动平台的移动机构的固定平台、和支持对所述工件台上的工件曝光掩膜图形的曝光单元的门架部，其中，固定所述门架部的固定平台具有在与所述可动平台的移动方向成直角的方向上可分割为多个的构造。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种液晶曝光装置，具有：搭载工件的工件台、具有该工件台的移动机构的可动平台、具有该可动平台的移动机构的固定平台、和支持对所述工件台上的工件曝光掩膜图形的曝光单元的门架部，其中，所述固定平台具有在与所述可动平台的移动方向成直角的方向上可分割为多个的构造。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立高新技术，未经株式会社日立高新技术许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010115737.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：液晶显示装置
- 下一篇：一种砝码自动搬运系统及其应用
