[发明专利]主动元件阵列基板及其制作方法

摘要

本发明是关于一种主动元件阵列基板及其制作方法，主动元件阵列基板包括基材及至少一图案化多层金属层。图案化多层金属层配置于基材上，其中图案化多层金属层至少包括铜层。图案化多层金属层是以蚀刻液蚀刻而成，蚀刻液包括氧化剂、酸碱值调整剂与金属离子螯合剂。图案化多层金属层在垂直基材的剖面是梯形，且梯形的底角小于60°。

主权项

一种主动元件阵列基板，其特征在于，所述的主动元件阵列基板包括：一基材；以及至少一图案化多层金属层配置于所述的基材上，其中所述的图案化多层金属层至少包括一铜层，所述的图案化多层金属层是以一蚀刻液蚀刻而成，所述的蚀刻液包括氧化剂、酸碱值调整剂与金属离子螯合剂，且所述的图案化多层金属层在垂直所述的基材的一剖面是一梯形，所述的梯形的底角小于60°。