[发明专利]适于与外涂敷的光刻胶一起使用的涂料组合物有效
| 申请号： | 201010119475.4 | 申请日： | 2010-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN101900943A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | J·F·卡梅隆;J·W·宋;J·P·阿马拉;G·P·普罗科波维奇;D·A·瓦莱里;L·维克里克;W-S·S·黄;W·李;P·R·瓦拉纳斯;I·Y·波波瓦 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/00;C09D135/00;G03F7/004;C08L35/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了能用水性碱显影剂显影(包括在外涂敷的光刻胶层的显影过程中的单一步骤)的有机涂料组合物，特别是减反射涂料组合物。优选的涂料组合物包括具有至少四个不同的官能团的四元聚合物。 | ||
| 搜索关键词： | 适于 外涂敷 光刻 一起 使用 涂料 组合 | ||
【主权项】：
一种涂敷的基材，所述基材包括：(a)包括四元聚合物的涂料组合物层，所述四元聚合物包括至少四种不同的官能团；和(b)位于所述涂料组合物层之上的光刻胶层，其中光刻胶的水性碱显影也显影底涂的所述涂料组合物层。
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