[发明专利]电阻率测量装置及方法

摘要

本发明公开一种电阻率测量装置及方法，利用涡流变化对半导体材料电阻率的测定。该装置包括：第一测量线圈与所述第一平衡线圈串联连接组成初级线圈，第二测量线圈与所述第二平衡线圈反向串联连接组成次级线圈；初级线圈与正弦波发生器的电源输出端连接，次级线圈与测量电路连接。正弦电流通过初级线圈时，产生交变的磁场，在试样内产生涡流。在次级线圈上产生电压V，它由两部分叠加而成，其一是初级线圈的交变磁场感生的电压V1，另一部分是试样内电涡流磁场感生的电压V2，同步检波消除V1，当该装置的几何尺寸、距离等各参数确定后，试样的电阻率ρ与测量的涡流电压V2之积ρV2是一常数，预先用电阻率已知的试样对该装置校正后，测得V2就可测出ρ值。

主权项

一种电阻率测量装置，其特征在于，包括：两个测量线圈、两个平衡线圈、正弦波发生器和测量电路；所述第一测量线圈与所述第一平衡线圈串联连接组成初级线圈，所述第二测量线圈与所述第二平衡线圈反向串联连接组成次级线圈；两个测量线圈相对设置并间隔一定距离，两个平衡线圈相对设置并间隔一定距离，且两个平衡线圈之间的距离能调节；所述组成的初级线圈与正弦波发生器的电源输出端连接，所述组成的次级线圈与测量电路连接，测量电路用于检测并处理所述次级线圈中感应出的电压，得出被测试样中产生的涡流电压并对其进行显示。