[发明专利]微电子机械开关自激励机理的测试结构及其制备方法无效
| 申请号： | 201010121131.7 | 申请日： | 2010-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN101782627A | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;肖建斌 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R31/327 | 分类号： | G01R31/327;H01P5/12 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210009 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的微电子机械开关自激励机理的测试结构具有实验结果精确，可比较性强，对测试仪器的要求简单等特点。该结构以砷化镓为衬底，在衬底上设有CPW、一分四功率分配器和梁阵列。该测试结构具有五个相同的梁结构，其中一个梁结构直接与RF输入端口和RF输出端口连接，其余四个梁结构分别与一分四功率分配器的四个输出端口连接，另一端分别接RF输出端口，五个梁结构各自具有独立的驱动电极；在机械结构上，CPW(a)、一分四功率分配器(b)、梁结构阵列(c)设置在同一块衬底(1)上。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 机械 开关 激励 机理 测试 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微电子机械开关自激励机理的测试结构，其特征在于该测试结构具有五个相同的梁结构，其中一个梁结构直接与RF输入端口和RF输出端口连接，其余四个梁结构分别对应与一分四功率分配器的四个输出端口连接，另一端分别接RF输出端口，五个梁结构各自具有独立的驱动电极；在机械结构上，CPW(a)、一分四功率分配器(b)、梁结构阵列(c)设置在同一块衬底(1)上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010121131.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：排气管连接结构和排气管连接方法
- 下一篇：凹凸小球面砂轮修整器
