[发明专利]一种利用电感耦合等离子体质谱仪进行磷检测的方法无效
申请号: | 201010123612.1 | 申请日: | 2010-03-12 |
公开(公告)号: | CN102192947A | 公开(公告)日: | 2011-09-21 |
发明(设计)人: | 刘彦云;顾健梁;许俊 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 20120*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种利用电感耦合等离子体质谱仪进行磷检测的方法,通过预加热去除了形成的含磷待测样品溶解液中的干扰基质,从而减少了溶解液中HNO3带来的高的分析背景,并消除了SiF4及HF对ICP-MS信号的降低。同时本发明方法中使用“PO”代替“P”作为定量因子,可有效避免空气中氮和氧的化合物的干扰。因此,本发明方法可以对低浓度的磷进行准确定量。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 电感 耦合 等离子体 质谱仪 进行 检测 方法 | ||
【主权项】:
1.一种利用电感耦合等离子体质谱仪进行磷检测的方法,包括以下步骤:步骤1,制备出含磷待测样品的溶解液;步骤2,将所述含磷待测样品的溶解液进行预加热以蒸发去除所述溶解液中的干扰基质,直至所述含磷待测样品溶解液的液体全部蒸发掉后,用无干扰基质的液体收集经过预加热蒸发后剩余的物质形成检测样品;步骤3,配置磷含量不同的若干种标准液,以PO作为定量因子,通过ICP-MS,在冷电浆的条件下检测所述各种标准液中质量数为47处的信号响应值,建立反应磷含量与所述各种标准液中质量数为47处的信号响应值间的线性关系的标准线;步骤4,以PO作为定量因子,通过ICP-MS,在冷电浆的条件下检测所述检测样品中质量数为47处的信号响应值;步骤5,通过检测出的所述检测样品中质量数为47处的信号响应值,依据所述标准线定量分析所述检测样品中的磷浓度;步骤6,计算所述含磷待测样品中的磷浓度,计算公式为:其中,P代表含磷待测样品中的磷浓度,C代表所述检测样品中的磷浓度,N2代表所述检测样品的重量,N1代表所述含磷待测样品的重量。
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