[发明专利]一种离线测量成像系统最佳物面的方法和装置

摘要

一种离线测量成像系统最佳物面的装置和方法，该装置包括光源模块，该模块能发出多个不同波长的激光；光耦合装置，耦合光源模块发出的激光，形成照明光斑；针孔掩模，其上具有m×n小孔阵列，接收光耦合装置形成的照明光斑；投影物镜，对针孔掩模进行成像，投影物镜的视场大小与针孔掩模上的小孔阵列的分布大小相同；传感器，接收投影物镜所成的像，并能测量像点的位置；根据掩模板上小孔位置和像点位置，所述装置能拟合出对应当前波长和掩模面高度的放大倍率。利用拟合得到的多个波长的放大倍率进行仿真，得到对应的掩模面位置，根据当前掩模面位置以及理论最佳物面高度差，进行掩模面高度调整，确定倍率色差最小值对应的掩模面位置为最佳物面。

主权项

一种离线测量成像系统最佳物面的装置，该装置包括：光源模块，该模块能发出多个不同波长的激光；光耦合装置，耦合光源模块发出的激光，形成照明光斑；针孔掩模，其上具有m×n小孔阵列，接收光耦合装置形成的照明光斑；投影物镜，对针孔掩模进行成像，投影物镜的视场大小与针孔掩模上的小孔阵列的分布大小相同；传感器，接收投影物镜所成的像，并能测量像点的位置；掩模运动平台，调整掩模的位置；传感器运动平台，能带动传感器和掩模运动平台进行同步扫描；根据掩模板上小孔位置和像点位置，所述装置能拟合出对应当前掩模面高度的放大倍率。