[发明专利]一种光刻机对准信号多通道采集校准装置有效
| 申请号： | 201010124096.4 | 申请日： | 2010-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN101799634A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 程鹏 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机对准信号多通道采集校准装置，包括：光电传感器，将经过调制的光强信号转换为调制电流信号；前置放大器，将调制电流信号转换为调制电压信号；可变增益放大器，将调制电压信号调整至设定幅值；SS信号校准器，校准可变增益放大器所产生的SS信号并将其输出；带通滤波器，滤除调制电压信号中的直流成分和其它干扰成分；解调器，用参考信号对调制电压信号进行解调；低通滤波器，滤除解调器输出的信号中的调制频率成分。通过这种校准装置，提高了各通道SS信号的一致性，且一次调整可以长期有效，简化了后期信号处理流程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 对准 信号 通道 采集 校准 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻机对准信号多通道采集校准装置，其特征在于，包括：光电传感器，用于将经过调制的光强信号转换为调制电流信号；前置放大器，用于将所述调制电流信号转换为调制电压信号；可变增益放大器，用于将所述调制电压信号调整至设定幅值；输入信号强度信号校准器，用于校准所述可变增益放大器所产生的输入信号强度信号并将其输出；带通滤波器，用于滤除所述调制电压信号中的直流成分和其它干扰成分；解调器，用参考信号对所述调制电压信号进行解调；低通滤波器，用于滤除所述解调器输出的信号中的调制频率成分。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司，未经上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010124096.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
