[发明专利]一种小尺度光学微腔制备方法有效
| 申请号： | 201010124688.6 | 申请日： | 2010-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101811662A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 高旻;李成垚;陈清 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 俞达成 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种小尺度光学微腔制备方法，属于光学微腔制备领域。本发明的方法为：1)采用微纳米结构制备方法获得所选材料的纳米线或纳米棒；2)选取所需的纳米线或纳米棒并确定切割线的宽度和位置；3)根据2)所确定的切割线宽度和位置，利用微纳米加工方法对选定的纳米线或纳米棒进行切割，得到所需的光学微腔。与现有技术相比，本发明可以获得腔尺寸更小且腔尺寸精确可控的光学微腔，而且方法流程实现简单有效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺度 光学 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种小尺度光学微腔制备方法，其步骤为：1)采用微纳米结构制备方法获得所选材料的纳米线或纳米棒；2)选取所需的纳米线或纳米棒并确定切割线的宽度和位置；3)根据2)所确定的切割线宽度和位置，利用微纳米加工方法对选定的纳米线或纳米棒进行切割，得到所需的光学微腔。
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