[发明专利]液体材料薄膜的喷涂装置及其喷涂方法有效
| 申请号： | 201010126040.2 | 申请日： | 2010-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN101813889A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 段广洪;向东;瞿德刚;牟鹏;何磊明 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种液体材料薄膜的喷涂装置及其喷涂方法，属于半导体器件生产技术领域。为解决得到足够细的超声雾化液体颗粒的同时保证足够的雾化流量，所述喷涂装置包括：雾化容器；超声波振荡器，用于进行超声雾化操作；液体材料输入装置，用于通入液体原料；载气输入装置，用于通入载气，所述载气用于与所述液体材料雾化后形成的颗粒混合形成雾气；雾气输出装置，用于输出所述雾气；喷嘴，用于接收雾气并将其喷涂在待喷涂晶片上。该技术方案具备特征：方案中各功能模块独立设置，提高了装置整体的工作能力以及效率；大大减少液体材料的浪费，进而减少环境污染；可得到更薄更均匀的喷涂效果，产生更薄，均匀度更好的液体薄膜；可喷涂台阶面。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 材料 薄膜 喷涂 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种液体材料薄膜的喷涂装置，其特征在于，所述装置包括：雾化容器，用于盛装液体材料并提供雾化空间；超声波振荡器，设置于所述雾化容器底部，用于对所述雾化容器内的液体材料进行超声雾化操作；液体材料输入装置，连接所述雾化容器，用于向所述雾化容器通入液体原料；载气输入装置，连接所述雾化容器，用于向所述雾化容器通入载气，所述载气用于与所述液体材料雾化后形成的颗粒混合形成雾气；雾气输出装置，连接所述雾化容器，用于输出所述雾气；喷嘴，连接所述雾气输出装置，用于接收所述雾气输出装置输送的雾气并将其喷涂在待喷涂晶片上。
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