[发明专利]三轴角速率传感器

摘要

用于检测围绕第一、第二和第三正交输入轴的旋转的角速率传感器，具有多个通常为平面的检验质量，检验质量被耦合在一起以便在由所述第一和第二输入轴形成的平面中沿着多方向驱动轴进行线性驱动模式振荡。所述质量被安装在通常为平面的传感构架上，以便在驱动模式中相对于所述传感构架进行线性移动并且在传感模式中与所述传感构架一起进行旋转。所述传感构架被安装用于响应分别通过所述质量围绕所述第一、第二和第三输入轴旋转产生的科里奥利力，在传感模式中与所述质量一起围绕第一、第二和第三输入轴彼此独立地旋转。而且，采用对所述质量和所述传感构架在传感模式中的旋转移动做出响应的电容传感器来检测旋转速率。

主权项

一种角速率传感器，用于检测围绕第一、第二和第三正交输入轴的旋转，包括：基板；传感构架，其被布置在由所述第一和第二输入轴形成的平面中；用于把所述传感构架安装在所述基板上并且允许所述传感构架围绕所述第一、第二和第三输入轴彼此独立地旋转的装置；多个检验质量，其在该平面中具有预定驱动轴，至少两个驱动轴彼此形成大于0度且小于1 80度的角度；用于把所述质量安装在所述传感构架上并且约束每个质量在驱动模式中沿着所述质量的驱动轴相对于所述传感构架的线性移动，并且用于在传感模式中与所述传感构架一起旋转的装置；用于将所述检验质量耦合在一起以形成单驱动模式振荡的装置；致动装置，用于驱动所述质量在驱动模式中振荡；检测装置，用于响应于通过所述质量分别围绕所述第一、第二和第三输入轴的旋转而产生的科里奥利力，检测所述检验质量和所述传感构架围绕所述第一、第二和第三输入轴的传感模式旋转。