[发明专利]压力传感器元件以及压力传感器无效
| 申请号： | 201010126148.1 | 申请日： | 2010-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN101819079A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 佐藤健太 | 申请（专利权）人： | 爱普生拓优科梦株式会社 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供压力传感器元件以及压力传感器，其降低了加速度敏感度。具有：封装(44)；第1膜片(46)，其设置在所述封装(44)的一个面上；第2膜片(48)，其设置在所述封装(44)的与所述一个面相对的面上；感压元件(32)，其配置在所述封装(44)内部，所述感压元件(32)具有：第1基部(34)，其形成在长度方向上的一端；第2基部(38)，其形成在所述长度方向上的所述一端的相反侧的另一端；振动部(36)，其形成在所述第1基部(34)与所述第2基部(38)之间，该感压元件(32)被配置成所述长度方向与各膜片的位移方向垂直，所述第1基部(34)与所述第1膜片(46)连接，所述第2基部(38)与所述第2膜片(48)连接。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 元件 以及 | ||
【主权项】：
一种压力传感器元件，其特征在于，该压力传感器元件具有：封装；第1膜片，其设置在所述封装的一个面上；第2膜片，其设置在所述封装的与所述一个面相对的面上；以及感压元件，其配置在所述封装内部，所述感压元件具有：第1基部，其形成在长度方向上的一端；第2基部，其形成在所述长度方向上的所述一端的相反侧的另一端；以及振动部，其形成在所述第1基部与所述第2基部之间，该感压元件被配置成所述长度方向与各膜片的位移方向垂直，所述第1基部与所述第1膜片连接，所述第2基部与所述第2膜片连接。
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