[发明专利]用于检测蓝宝石基片表面层损伤的腐蚀剂有效
| 申请号： | 201010128953.8 | 申请日： | 2010-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN101788415A | 公开（公告）日： | 2010-07-28 |
| 发明（设计）人： | 康仁科;高尚;金洙吉;郭东明;赵海轩 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32;G01N21/88 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 关慧贞 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于硬脆晶体材料超精密加工领域，涉及一种用于检测蓝宝石基片表面层损伤的腐蚀剂。该腐蚀剂由硫氰酸(HCNS)，浓硫酸(H2SO4)和浓磷酸(H3PO4)混合而成，各成分所占体积百分比为：硫氰酸20-25％，浓硫酸55-60％，浓磷酸15-20％，各成分体积百分比之总和为100％。根据使用需要的腐蚀剂体积，按上述比例分别计量硫氰酸(HCNS)，浓硫酸(H2SO4)和浓磷酸(H3PO4)的体积，然后在常温、常压下搅拌均匀。本发明的腐蚀剂对蓝宝石基片具有良好的择优腐蚀性，损伤腐蚀效果明显，腐蚀剂的使用温度低，腐蚀速率快。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 蓝宝石 表面 损伤 腐蚀剂 | ||
【主权项】：
一种用于检测蓝宝石基片表面层损伤的腐蚀剂，其特征在于，它由硫氰酸(HCNS)，浓硫酸(H2SO4)和浓磷酸(H3PO4)混合而成，各成分所占体积百分比为：HCNS占20-25％，H2SO4占55-60％，H3PO4占15-20％，各成分体积百分比之总和为100％；根据使用需要的腐蚀剂体积，按上述比例分别计量硫氰酸(HCNS)，浓硫酸(H2SO4)和浓磷酸(H3PO4)的体积，在常温、常压下搅拌均匀。
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