[发明专利]氢气的供给装置及供给方法、石英玻璃制造装置有效
| 申请号： | 201010129396.1 | 申请日： | 2010-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN101805115A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 井上大;长尾贵章;小出弘行 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B37/018 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 日本东京市千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种对石英玻璃制造装置供给氢气的供给装置，此石英玻璃制造装置具备供给氢气而产生氢氧焰的燃烧器，且所述供给装置具备：第一氢供给系统，其供给同位素的含有比处于平衡状态的氢气；第二氢供给系统，其供给同位素的含有比偏离平衡状态的氢气；阀门，其改变对燃烧器供给的氢气的流量；第一流量测量器，其基于热容量测量来测量氢气的流量；流量控制部，其具有对用以使第一流量测量器的测量值接近于由外部提供的设定值的阀门进行控制的控制部；第二流量测量器，其根据热容量以外的要素来测量氢气的流量；及设定值修正部，其将通过第一流量测量器的测量值与第二流量测量器的测量值的比乘以设定值来修正而得的设定值设定在控制部中。 | ||
| 搜索关键词： | 氢气 供给 装置 方法 石英玻璃 制造 | ||
【主权项】：
一种供给装置，其特征在于：其对石英玻璃制造装置供给氢气，此石英玻璃制造装置包括供给氢气而产生氢氧焰的燃烧器，且所述供给装置包括：第一氢供给系统，其供给同位素的含有比处于平衡状态的氢气；第二氢供给系统，其供给同位素的含有比偏离平衡状态的氢气；阀门，其改变对所述燃烧器供给的氢气的流量；第一流量测量器，其基于热容量测量来测量所述氢气的流量；流量控制部，其具有对用以使所述第一流量测量器的测量值接近于由外部提供的设定值的所述阀门进行控制的控制部；第二流量测量器，其根据热容量以外的要素来测量所述氢气的流量；及设定值修正部，其将通过所述第一流量测量器的测量值与所述第二流量测量器的测量值的比乘以所述设定值来修正而得的设定值设定在所述控制部中。
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