[发明专利]可装配二维微等离子体阵列装置及其制备方法无效
| 申请号： | 201010129547.3 | 申请日： | 2010-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN101794699A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 孟令国;邢建平;蒋然;林兆军;王卿璞 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H01J17/38 | 分类号： | H01J17/38;H01J9/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 于冠军 |
| 地址： | 250100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可装配二维微等离子体阵列装置及其制备方法，该装置由至少两个电极层与至少一个微腔层层叠排列而成，各层之间密切接触，两个最外侧均为电极层，所有电极层与微腔层上均设有至少两个定位孔，所有电极层和微腔层均通过定位孔对齐；微腔层是表面覆盖介电层的导电材料片，或是绝缘材料组成的绝缘片；微腔层的边缘设有凹陷的线阵列微腔，各个微腔之间由障壁隔离开；电极层是导电材料片；由微腔层和电极层中分别引出电极。制备方法是将片状材料裁切成相同的矩形片作为电极层和微腔层，将电极层与微腔层对齐，按照要求逐层装配。本发明可灵活改变微等离子体阵列尺寸，降低了工艺难度与成本，提高了装置阵列密度、装置尺寸与可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 装配 二维 等离子体 阵列 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种可装配二维微等离子体阵列装置，由至少两个电极层与至少一个微腔层层叠排列而成，其特征在于：各层之间密切接触，两个最外侧均为电极层，所有电极层与微腔层上均设有至少两个定位孔，所有电极层和微腔层均通过定位孔对齐；微腔层是表面覆盖介电层的导电材料片，或是绝缘材料组成的绝缘片；微腔层的边缘设有凹陷的线阵列微腔，各个微腔之间由障壁隔离开；电极层是导电材料片；由微腔层和电极层中分别引出两电极、三电极或四电极。
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