[发明专利]一种开单晶1*0参考面的方法无效
| 申请号： | 201010129748.3 | 申请日： | 2010-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN101994157A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 牛小群;余新明 | 申请（专利权）人： | 浙江星宇电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种开单晶参考面的方法，该方法是先把单晶棒放到研磨机上，夹紧晶棒，调整同心度后滚外圆到标准直径；然后，利用开参考面与定向的110面成90°的空间角的特征，根据单晶棒任意的一个110面进行定向，之后，直接进行开参考面。采用本发明方法，因单晶棒定向后就不需要进行旋转，这样可以消除机械精度与操作人员的视角影响，以及刻度盘偏差精度的影响，从而大大提高开参考面的精度，同时，还减少的操作工序，有利于提高劳动效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 开单 参考 方法 | ||
【主权项】：
1.一种开单晶![]()
参考面的方法，其特征在于把单晶棒放到研磨机上，夹紧晶棒，调整同心度后滚外圆到标准直径；然后，利用开![]()
参考面与定向的110面成90°的空间角的特征，根据单晶棒任意的一个110面进行定向，之后，直接进行开![]()
参考面。
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