[发明专利]一种太阳能硅片的表面清洗方法无效
| 申请号： | 201010129811.3 | 申请日： | 2010-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN101817006A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 郜勇军;方建和;柴宏峰 | 申请（专利权）人： | 浙江矽盛电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种太阳能硅片的表面清洗方法，该方法在晶棒切成太阳能硅片并经脱胶后，先在浓度为1～3％的氢氟酸溶液中浸泡，接着采用纯水漂洗，接着放在浓度为1～3％的柠檬酸溶液中并导入纯净压缩空气边鼓泡边浸泡，然后又采用纯水漂洗，之后又在浓度为1～3％的硅片清洗剂中采用超声波清洗，接着再经多次纯水超声波漂洗后，最后放入温度保持在45～70℃的纯水中并采用超声波清洗即可。采用本发明方法，由于采用了酸液浸泡，并导入纯净压缩空气鼓泡，使太阳能硅片表面的金属粘污物及切割溶液迅速分解剥离，大大增加了硅片表面清洁度，从而提高了太阳能硅片制绒的成品率及质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 硅片 表面 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能硅片的表面清洗方法，其特征在于在晶棒切成太阳能硅片并经脱胶后，先在浓度为1～3％的氢氟酸溶液中浸泡，接着采用纯水漂洗，接着放在浓度为1～3％的柠檬酸溶液中并导入纯净压缩空气边鼓泡边浸泡，然后又采用纯水漂洗，之后又在浓度为1～3％的硅片清洗剂中采用超声波清洗，接着再经多次纯水超声波漂洗后，最后放入温度保持在45～70℃的纯水中并采用超声波清洗即可。
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