[发明专利]固态图像拍摄设备及其制造方法

摘要

本发明涉及固态图像拍摄设备及其制备方法。该固态图像拍摄设备包括半导体衬底、光电转换器、转移栅极、绝缘层、第一硅层和像素晶体管部分。光电转换器将入射光的光能转换成电能，并且获得信号电荷。光电转换器形成在半导体衬底中的表面侧。转移栅极读取来自光电转换器的信号电荷，并且转移栅极形成在半导体衬底上邻近于光电转换器。绝缘层形成在半导体衬底中的光电转换器上。第一硅层形成在绝缘层上。像素晶体管部分放大且输出由转移栅极读取的信号电荷。像素晶体管部分以第一硅层作为有源区形成在绝缘层上。

主权项

一种固态图像拍摄设备，包括：半导体衬底；光电转换器，将入射光的光能转换成电能并获得信号电荷，所述光电转换器形成在所述半导体衬底的表面侧；转移栅极，从所述光电转换器读取所述信号电荷，所述转移栅极形成在所述半导体衬底上邻近于所述光电转换器；绝缘层，形成在所述半导体衬底中的所述光电转换器上；第一硅层，形成在所述绝缘层上；以及像素晶体管部分，放大且输出由所述转移栅极读取的所述信号电荷，所述像素晶体管部分以所述第一硅层作为有源区形成在所述绝缘层上。