[发明专利]可切换的射频功率源系统无效
| 申请号： | 201010130648.2 | 申请日： | 2010-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN102202454A | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 尹志尧;陈金元;杜志游;欧阳亮;饭塚浩 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可切换的射频功率源系统，可以实现在多频率的射频功率之间进行切换。本系统使用射频信号发生器、射频信号放大器，并且包括一开关组件在具有两个频率的被放大的信号之间切换。 | ||
| 搜索关键词： | 切换 射频 功率 系统 | ||
【主权项】：
一种可切换的射频功率源系统，其特征在于，包括：振荡器，提供一频率信号；射频功率源组件，接收所述频率信号和以一第一频率或一第二频率输出一射频信号；宽频带放大器，接收和放大所述以一第一频率或一第二频率输出的射频信号，从而提供一个被放大的具有该第一频率或该第二频率的射频信号；以及，切换机制，用以在所述第一频率和第二频率之间切换。
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