[发明专利]高精度垂向位置测量装置无效
| 申请号： | 201010130820.4 | 申请日： | 2010-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN102200428A | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 金小兵;李志丹;陈飞彪;鲁武旺 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种高精度垂向位置测量装置，在该装置中，光源发出的测量光束经由被测硅片反射后入射至高速旋转的斩光器，斩光器将测量光束转换成高频光学信号，该高频光学信号被二象限PD接收，二象限PD将高频光学信号转换成两个象限的电信号，对两个象限的电信号进行分析处理得出被测硅片在垂向的位置偏移信息。 | ||
| 搜索关键词： | 高精度 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种高精度垂向位置测量装置，在该装置中，光源发出的测量光束经由被测硅片反射后入射至高速旋转的斩光器，斩光器将测量光束转换成高频光学信号，该高频光学信号被二象限PD接收，二象限PD将高频光学信号转换成两个象限的电信号，对两个象限的电信号进行分析处理得出被测硅片在垂向的位置偏移信息。
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