[发明专利]一种光刻机投影物镜像面在线测量标记及测量方法有效
| 申请号： | 201010131941.0 | 申请日： | 2010-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN102200690A | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李术新;毛方林 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光刻机投影物镜像面在线测量标记及利用该标记的测量方法。所述标记由周期分布的子标记组成，所述子标记中包括多种不同的线条标记。所述方法在预期的最佳像面附近，在不同的高度上扫描标记的空间像，记录空间像能量分布，根据能量分步计算测量标记在不同测量高度处的空间像的频率分布，根据频率分布计算视场中不同位置的最佳成像高度，最后根据最佳成像高度拟合像面高度、倾斜、场曲等参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 投影 物镜 在线 测量 标记 测量方法 | ||
【主权项】：
一种光刻机投影物镜像面在线测量标记，所述标记由周期分布的子标记组成，其特征在于，所述子标记中包括多种不同的线条标记。
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