[发明专利]制造抗蚀图案的方法无效

专利信息
申请号: 201010133044.3 申请日: 2010-03-10
公开(公告)号: CN101834121A 公开(公告)日: 2010-09-15
发明(设计)人: 市川幸司;杉原昌子 申请(专利权)人: 住友化学株式会社
主分类号: H01L21/027 分类号: H01L21/027;H01L23/522;G03F7/038
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 陈海涛;樊卫民
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供了一种制造抗蚀图案的方法,所述图案足够微型化且具有优异形状,所述方法包括重复进行形成图案化抗蚀膜的工序,且所述工序包括步骤(1)(形成抗蚀膜,并将所述形成的抗蚀膜曝光)等,以通过n个循环形成图案化抗蚀膜,从而得到抗蚀图案。其中在形成所述图案化抗蚀膜工序的n个循环中,至少一个循环的步骤(1)中曝光的所述抗蚀膜是通过将抗蚀组合物成层而形成的膜。所述抗蚀组合物含有树脂(B)、光生酸剂(A)和交联剂(C),其中所述树脂(B)因酸的作用可溶于碱性水溶液中,且具有7000~10000的重均分子量和150~200℃的玻璃化转变温度。
搜索关键词: 制造 图案 方法
【主权项】:
一种通过重复进行形成图案化抗蚀膜的工序制造抗蚀图案的方法,所述工序依次包括下列步骤(1)、(2)和(3):(1)形成抗蚀膜,并将所述形成的抗蚀膜曝光;(2)对所述经曝光的抗蚀膜进行加热;以及(3)通过碱性显影对所述抗蚀膜进行图案化处理,其中将所述工序重复n个循环以获得抗蚀图案,n是2以上的整数,其中在形成图案化抗蚀膜的工序的n个循环中,在至少从第一个循环到第(n-1)个循环中,在所述步骤(3)之后还实施步骤(4):(4)对所述图案化抗蚀膜进行加热;以及其中在形成图案化抗蚀膜的工序的n个循环的至少一个循环中,步骤(1)中曝光的所述抗蚀膜是通过将抗蚀组合物成层而形成的膜,所述抗蚀组合物含有树脂(B)、光生酸剂(A)和交联剂(C),其中所述树脂(B)通过酸的作用可溶于碱性水溶液中,且具有7000~10000的重均分子量和150~200℃的玻璃化转变温度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友化学株式会社,未经住友化学株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201010133044.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top