[发明专利]制造抗蚀图案的方法

摘要

本发明提供了一种制造抗蚀图案的方法，所述图案足够微型化且具有优异形状，所述方法包括重复进行形成图案化抗蚀膜的工序，且所述工序包括步骤(1)(形成抗蚀膜，并将所述形成的抗蚀膜曝光)等，以通过n个循环形成图案化抗蚀膜，从而得到抗蚀图案。其中在形成所述图案化抗蚀膜工序的n个循环中，至少一个循环的步骤(1)中曝光的所述抗蚀膜是通过将抗蚀组合物成层而形成的膜。所述抗蚀组合物含有树脂(B)、光生酸剂(A)和交联剂(C)，其中所述树脂(B)因酸的作用可溶于碱性水溶液中，且具有7000～10000的重均分子量和150～200℃的玻璃化转变温度。

主权项

一种通过重复进行形成图案化抗蚀膜的工序制造抗蚀图案的方法，所述工序依次包括下列步骤(1)、(2)和(3)：(1)形成抗蚀膜，并将所述形成的抗蚀膜曝光；(2)对所述经曝光的抗蚀膜进行加热；以及(3)通过碱性显影对所述抗蚀膜进行图案化处理，其中将所述工序重复n个循环以获得抗蚀图案，n是2以上的整数，其中在形成图案化抗蚀膜的工序的n个循环中，在至少从第一个循环到第(n-1)个循环中，在所述步骤(3)之后还实施步骤(4)：(4)对所述图案化抗蚀膜进行加热；以及其中在形成图案化抗蚀膜的工序的n个循环的至少一个循环中，步骤(1)中曝光的所述抗蚀膜是通过将抗蚀组合物成层而形成的膜，所述抗蚀组合物含有树脂(B)、光生酸剂(A)和交联剂(C)，其中所述树脂(B)通过酸的作用可溶于碱性水溶液中，且具有7000～10000的重均分子量和150～200℃的玻璃化转变温度。