[发明专利]一种湿度发生器的气体压力和流量控制装置有效

专利信息
申请号: 201010133181.7 申请日: 2010-03-26
公开(公告)号: CN101794158A 公开(公告)日: 2010-08-04
发明(设计)人: 张文东 申请(专利权)人: 上海市计量测试技术研究院
主分类号: G05D27/00 分类号: G05D27/00
代理公司: 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 代理人: 吴泽群
地址: 200040 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种湿度发生器,属于双压法湿度发生器领域。一种湿度发生器的气体压力和流量控制方法,其特征是包括如下步骤:在湿度发生器的饱和器设置压力传感器的步骤,实时监测和传送饱和器内的压力;根据需要达到的气体压力设定电压的步骤;实时比较设定的电压值和压力传感器传送的反馈电压值,根据比较结果控制气源气体进入饱和器的步骤;当饱和器内的压力达到设定值后,控制通过湿度发生器的测试室的气体流量达到设定值的步骤。及应用上述方法进行气体压力和流量控制的装置。本发明使压力时刻自动稳定在设定值上,避免了现在压力不稳定的现象,实现了压力控制的高稳定度。
搜索关键词: 一种 湿度 发生器 气体 压力 流量 控制 装置
【主权项】:
一种湿度发生器的气体压力和流量控制方法,其特征是包括如下步骤:在湿度发生器的饱和器设置压力传感器的步骤,实时监测和传送饱和器内的压力;根据需要达到的气体压力设定电压的步骤;实时比较设定的电压值和压力传感器传送的反馈电压值,根据比较结果控制气源气体进入饱和器的步骤;当饱和器内的压力达到设定值后,控制通过湿度发生器的测试室的气体流量达到设定值的步骤。
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