[发明专利]一种大面积制备氧化锌纳米棒阵列的方法无效

专利信息
申请号: 201010133242.X 申请日: 2010-03-26
公开(公告)号: CN102199770A 公开(公告)日: 2011-09-28
发明(设计)人: 孙超;黄楠;朱明伟;宫骏;裴志亮;华伟刚;肖金泉 申请(专利权)人: 中国科学院金属研究所
主分类号: C23C26/00 分类号: C23C26/00;C01G9/02
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 张志伟
地址: 110016 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明属于氧化锌纳米棒阵列制备技术领域,具体的说是一种大面积制备取向良好且致密度较高的氧化锌纳米棒阵列的方法,包括配置溶胶、清洗基片、浸渍-提拉镀膜和结晶热处理四个步骤,采用溶胶凝胶法,在无催化剂无模板的条件下直接在基片上大面积制备取向良好且致密度较高的氧化锌纳米棒阵列,该方法大大降低了实际生产成本,提高了工艺的可重复性。本发明可以解决目前生产氧化锌纳米棒阵列成本高,需借助催化剂和模板或气相氧化锌过渡层辅助生长,生产重复性差等问题。本发明通过一种简单的方法,直接在衬底上大面积生长出阵列整齐,结构均匀,致密度较高的氧化锌纳米棒阵列,通过调节浸渍-提拉速度有效控制阵列氧化锌纳米棒的长径比。
搜索关键词: 一种 大面积 制备 氧化锌 纳米 阵列 方法
【主权项】:
一种大面积制备氧化锌纳米棒阵列的方法,其特征在于,该方法具体步骤如下:(1)配置溶胶将二水乙酸锌与等摩尔比的单乙醇胺溶于乙二醇甲醚中,在45‑75℃条件下均匀搅拌20‑30min,再将六水氯化铝溶于此溶液中,继续搅拌10‑30min,得到澄清淡黄色的溶胶,将其静止放置,密封保存;其中,二水乙酸锌在乙二醇甲醚中的浓度控制在0.75‑3mol/L范围内,二水乙酸锌与六水氯化铝的摩尔比为90‑96∶10‑4;(2)清洗基片将基片依次放入丙酮‑蒸馏水‑无水乙醇‑蒸馏水中分别超声清洗10‑20min,去除基片表面粘附的杂质,清洗完毕后冷风吹干,立即放入干净容器内保存;(3)浸渍‑提拉镀膜将清洗后的基片浸入到配置好的溶胶中,浸渍1‑2min后将基片从溶胶中提出,基片表面附着一层溶胶;(4)结晶热处理将涂镀后的样品放入热处理管式炉中,以2‑10℃/min升温速率升到450℃‑550℃后保温1‑4h,再随炉冷却至室温取出样品,即基片表面生长出一层乳白色的薄膜。
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