[发明专利]基于数字无掩模光刻技术的微透镜及其制作方法

摘要

一种基于数字无掩模光刻技术的微透镜，其特征是将透镜底面半径等分为若干个小微元，这些小微元的宽度和数字光刻系统中使用的数字微镜(DMD)的像素宽度成一定关系，即一个小微元宽度等于经过精缩投影物镜缩小的DMD上的一个像素宽度，或者由整数个像素的横向宽度组合而成；由于微透镜底而圆是中心对称结构，所以将每个小微元绕中心旋转一周就得到一个环带，底面圆看成是有许多个环带组成。本发明的优点是：1、避免了传统方法给制作器件带来的误差失真；2、更加接近理论设计值；3、由计算机控制图片实时变换能减小曝光时间的误差，使曝光过程自动化、简单化、高效率。

主权项

一种基于数字无掩模光刻技术的微透镜，其特征是将透镜底面半径等分为若干个小微元，这些小微元的宽度和数字光刻系统中使用的数字微镜(DMD)的像素宽度成一定关系，即一个小微元宽度等于经过精缩投影物镜缩小的DMD上的一个像素宽度，或者由整数个像素的横向宽度组合而成；由于微透镜底面圆是中心对称结构，将每个小微元绕中心旋转一周就得到一个环带，底面圆看成是有许多个环带组成，小微元从小到大、从里到外排列，利用球面透镜的几何关系求出每个环带的高度，环带的高度代表了透镜表面不同位置的高度，让最里面的环带最高越向外的环带越低，按几何公式形成凸透镜的表面面型，再设计每个环带的曝光量，使得环带的高低准确地反映在光刻胶上，将高低的尺寸的差别换算成比例，由比例再换算成曝光的灰度值从而决定了曝光量。