[发明专利]单晶炉余热循环利用装置无效
| 申请号： | 201010134683.1 | 申请日： | 2010-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN101876084A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 冯鑫 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉余热循环利用装置，它包括压力罐、调压箱、汽化器、单晶炉、单晶炉冷却装置、热水池、循环泵、热水管、冷水管和输气管，它利用单晶炉中冷却装置所产生的热水使汽化器中的液态气体吸热汽化，汽化器所产生的气体供单晶炉使用，汽化器所产生的冷水再送回单晶炉冷却装置进行循环使用，从而实现单晶炉生产过程中余热的循环利用，本发明既确保汽化器的汽化效果，输气压力稳定，又能为单晶炉提供冷却水。能很好地实现单晶炉生产过程中余热的再利用，能大幅度降低能耗，节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 余热 循环 利用 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶炉余热循环利用装置，其特征是：它包括压力罐(1)、调压箱(2)、汽化器(3)、单晶炉(4)、单晶炉冷却装置(5)、热水池(6)、循环泵(7)、热水管(8)、冷水管(9)和输气管(10)，液态气体存于压力罐(1)中，压力罐(1)通过调压箱(2)与汽化器(3)相连，汽化器(3)通过输气管(10)与单晶炉(4)相连，单晶炉冷却装置(5)通过热水管(8)与热水池(6)相通，循环泵(7)的吸液口与热水池(6)相通连，出液口通过热水管(8)与汽化器(3)相连，汽化器(3)再通过冷水管(9)与单晶炉冷却装置(5)相连，所述汽化器(3)，由液态气体导入管(31)、集成转换管(32)、气体导出管(33)、水箱(34)、热水进口(35)和冷水出口(36)组成，集成转换管(32)置于水箱(34)中，且位于液态气体导入管(31)和气体导出管(33)之间，集成转换管(32)由多根金属支管(321)并联连接而成，各金属支管(321)相互连通，在水箱(34)上设有热水进口(35)和冷水出口(36)，且热水进口(35)设置在气体导出管(33)的一侧，冷水出口(36)设置在液态气体导入管(31)的一侧，在水箱(34)的外表设有保温层(37)。
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