[发明专利]镀膜工艺室上的盖板无效
| 申请号： | 201010134719.6 | 申请日： | 2010-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN101942637A | 公开（公告）日： | 2011-01-12 |
| 发明（设计）人： | 黄峰 | 申请（专利权）人： | 黄峰 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 张家港市高松专利事务所 32209 | 代理人： | 黄春松 |
| 地址： | 215625 江苏省张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可根据生产需要来互换安装真空泵及阴极靶材的镀膜工艺室上的盖板，包括板体，板体的中部设置有若干个与真空泵相配合的真空泵安装孔，板体的两端分别设置有一个与靶材相配合的靶材安装孔。本发明用于生产真空镀膜玻璃的镀膜工艺室上。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 工艺 盖板 | ||
【主权项】：
镀膜工艺室上的盖板，包括板体，其特征在于：所述板体的中部设置有若干个与真空泵相配合的真空孔，板体的两端分别设置有一个与靶材相配合的靶材安装孔。
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