[发明专利]承载装置及具有该承载装置的曝光机无效
| 申请号： | 201010137142.4 | 申请日： | 2010-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN102213920A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 邓志明;魏荣廷 | 申请（专利权）人： | 亿力鑫系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军;秦小耕 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种承载装置，适于承载一待曝光工件，承载装置包含一基座及一可更换的承载盘，基座包括一顶面，及多数个设置于顶面的第一定位件，可更换的承载盘包括一可承载待曝光工件并与其尺寸相当的承载面、一可抵接于顶面的底面，及多数个设置于底面且可拆卸地与所述第一定位件相接合的第二定位件，借此，当待曝光工件尺寸改变时，便能替换具有对应待曝光工件尺寸的承载面的可更换的承载盘。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 装置 具有 曝光 | ||
【主权项】：
一种承载装置，适于承载一待曝光工件；其特征在于：该承载装置包含一基座，及一可更换的承载盘，该基座包括一顶面，及多数个设置于该顶面的第一定位件，该可更换的承载盘包括一可承载该待曝光工件并与其尺寸相当的承载面、一可抵接于该顶面的底面，及多数个设置于该底面且可拆卸地与所述第一定位件相接合的第二定位件，借此，当该待曝光工件尺寸改变时，便能替换具有对应该待曝光工件尺寸的承载面的该可更换的承载盘。
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