[发明专利]用于椭偏测量系统中入射角度自动探测的装置和方法有效
| 申请号： | 201010137774.0 | 申请日： | 2010-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101846616A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 孟永宏;杨涛 | 申请（专利权）人： | 北京量拓科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100098 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于椭偏测量系统中入射角度自动探测的装置，包括用于产生具有偏振态的探测光波、并将其入射到样品上的起偏臂，用于对经样品反射后光波进行偏振态再调制和光能量检测的检偏臂，用于支撑起偏臂和检偏臂的基板，其中，基板上设置有若干个位置探测开关，起偏臂和检偏臂上均设置有用于触发位置探测开关的触发装置，起偏臂和检偏臂转动到不同的位置，安装在其上的触发装置将改变位置探测开关的状态，从而获得该入射角度、反射角度的信号，以实现起偏臂和检偏臂的位置探测、及入射角度的自动探测。本发明提供的用于椭偏测量系统中角度自动探测的装置和方法结构简单易于实现，具有成本低、快速、高效、自动化、高可靠性的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 系统 入射 角度 自动 探测 装置 方法 | ||
【主权项】：
用于椭偏测量系统中入射角度自动探测的装置，其特征在于，该装置包括用于产生具有偏振态的探测光波、并将其入射到样品上的起偏臂，用于对经样品反射后光波进行偏振态再调制和光能量检测的检偏臂，用于支撑起偏臂和检偏臂的基板，其中，基板上设置有若干个位置探测开关，支撑起偏臂和检偏臂上均设置有用于触发位置探测开关的触发装置，起偏臂和检偏臂转动到不同的位置，安装在其上的触发装置将改变位置探测开关的状态，从而获得该入射角度、反射角度的信号，以实现起偏臂和检偏臂的位置探测、及入射角度的自动探测。
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