[发明专利]基于AFM的纳米沟道加工方法有效
| 申请号： | 201010138121.4 | 申请日： | 2010-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN102211754A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 焦念东;王志迁;董再励 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110116 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于AFM的纳米沟道加工方法。通过控制AFM探针的伸长距离、探针运动速度及路径，实现在二氧化硅基底上加工出特定深度和宽度的纳米沟道。本发明的纳米沟道加工方法可应用于微流控芯片制造中，通过纳米沟道实现对沟道内流体特性及生物单分子的特性分析。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 afm 纳米 沟道 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种基于AFM的纳米沟道加工方法，其特征在于该方法包括下列步骤：1)光电位置检测传感器的敏感度(PSD sensitivity)的标定和被加工材料(二氧化硅)的弹性模量的确定；2)探针到基底的距离的确定；3)根据已知期望压入深度，确定PZT伸长量；4)纳米沟道加工路径规划；5)基于AFM的纳米沟道机械加工。
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