[发明专利]固态图像拾取装置及其制造方法、图像拾取装置和电子装置

摘要

本发明涉及固态图像拾取装置及其制造方法、图像拾取装置和电子装置。固态图像拾取装置包括像素部分，所述像素部分由沿半导体基底的行和列方向排列的单元像素限定。每个单元像素包括：形成在半导体基底上并将入射光线转换为信号电荷的光电转换器、形成在光电转换器上方并将入射光线引导到光电转换器的波导，以及形成在波导上方并且将入射光线引导到波导的光线入射侧一端的微透镜。波导具有从光线入射侧一端到光线出射侧一端具有恒定的横截面的柱形主体，并且设置为使得从波导的光线入射侧一端上的微透镜入射的入射光线的射线中心与波导的中心轴对齐。

主权项

一种固态图像拾取装置，包括：像素部分，由沿半导体基底的行和列方向排列的单元像素限定，其中，每个所述单元像素包括：光电转换器，形成在所述半导体基底上并将入射光线转换为信号电荷，波导，形成在所述光电转换器上方并将入射光线引导到所述光电转换器，以及微透镜，形成在所述波导上方并将入射光线引导到所述波导的光线入射侧一端，并且其中，所述波导具有柱形主体，所述柱形主体从所述光线入射侧一端到光线出射侧一端具有恒定的横截面，并且所述波导设置为使得从所述微透镜入射到所述波导的所述光线入射侧一端上的所述入射光线的射线中心与所述波导的中心轴对齐。