[发明专利]平板玻璃表面的异物检测装置无效

专利信息
申请号: 201010141431.1 申请日: 2010-03-25
公开(公告)号: CN102141526A 公开(公告)日: 2011-08-03
发明(设计)人: 金贤祐;朴晋弘;金台皓;李昌夏 申请(专利权)人: 三星康宁精密素材株式会社
主分类号: G01N21/956 分类号: G01N21/956
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 臧建明
地址: 韩国庆尚北*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明涉及平板玻璃表面的异物检测装置,包括:A面激光束照射装置,从平板玻璃的A面的上部朝向A面,以A面的法线向量为基准且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波长的激光束;A面摄像装置,对将激光束照射至平板玻璃的A面上的部位进行拍摄,该激光束是从A面激光束照射装置而照射;B面激光束照射装置,从平板玻璃的A面的上部,以A面的法线向量为基准且以比第一角度更小的第二角度而朝向所述A面照射第2波长的激光束,所述第2波长的激光束是被照射的激光束的大部分在平板玻璃的厚度方向上透过后所得;B面摄像装置,对将激光束照射至平板玻璃的B面上的部位进行拍摄,该激光束是从B面激光束照射装置而照射;以及检测信号处理部。
搜索关键词: 平板玻璃 表面 异物 检测 装置
【主权项】:
一种平板玻璃表面的异物检测装置,对附着于平板玻璃的表面上的异物进行检测,所述平板玻璃包括由A面与B面构成的两面,其特征在于包括:A面激光束照射装置,从所述平板玻璃的A面的上部朝向所述A面,以A面的法线向量为基准且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波长的激光束;A面摄像装置,对将激光束照射至所述平板玻璃的A面上的部位进行拍摄,所述激光束是从所述A面激光束照射装置而照射;B面激光束照射装置,从所述平板玻璃的A面的上部,以A面的法线向量为基准且以比所述第一角度更小的第二角度朝向所述A面而照射第2波长的激光束,所述第2波长的激光束是被照射的激光束的大部分在平板玻璃的厚度方向上透过后所得;B面摄像装置,对将激光束照射至所述平板玻璃的B面上的部位进行拍摄,所述激光束是从所述B面激光束照射装置而照射;以及检测信号处理部,对从所述A面摄像装置及所述B面摄像装置所输入的影像图像进行分析,而对附着所述异物的面进行判别。
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