[发明专利]一种直写光刻机的自动聚焦光路结构

摘要

本发明公开了一种直写光刻机的自动聚焦光路结构，即直写光刻机的自动聚焦系统。由直写光刻机的图形发生器生成的图案经过光刻物镜并返回后，通过光路分成两束，这两束光故意造成一定的光程差，分别成像在CCD相机的上、下表面，根据CCD相机上、下图案对比度的差异即可判断离焦的情况，从而驱动平台运动，达到快速聚焦的目的。具有速度快、精度高、结构简单等特点。

主权项

一种直写光刻机的自动聚焦光路结构，包括有精密位移平台，所述精密位移平台上放置有晶圆，所述晶圆上方设置有光刻物镜，所述光刻物镜上方设置有图形发生器，所述图形发生器外还设置有照明光源，其特征在于：所述图形发生器和光刻物镜之间设置有第一分光镜，所述第一分光镜一侧的反射光路上设置有第二分光镜，所述第二分光镜上方的反射光路上设置有反射镜，还包括有CCD相机，所述反射镜的反射面朝向CCD相机感光面的上半表面，第二分光镜的透射面朝向CCD相机感光面的下半表面；图形发生器生成光栅图，照明光源发出的光入射至图形发生器后形成光栅图反射光，光栅图反射光经过第一分光镜、光刻物镜后成像于所述晶圆表面，晶圆表面所成的像沿入射光路返回至所述第一分光镜，并被第一分光镜的反射面反射至第二分光镜，一部分光透射过第二分光镜后入射至所述CCD相机感光面的下半表面上，另一部分光依次被所述第二分光镜的反射面、反射镜反射后，入射至所述CCD相机感光面的上半表面上。