[发明专利]冷阴极电离真空计、真空处理设备和放电开始辅助电极无效
| 申请号： | 201010144421.3 | 申请日： | 2010-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN101858812A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 川崎洋補;菊池俊雄 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/34 | 分类号： | G01L21/34;H01J41/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 冷阴极电离真空计、真空处理设备和放电开始辅助电极。该冷阴极电离真空计无需使设备复杂化即使在长时间使用的情况下也能在短时间内触发放电。该冷阴极电离真空计具有如下结构：棒状阳极位于具有放电空间且一端被密封的测量元件容器(阴极)的内部，并且放电开始辅助电极被安装到该阳极。放电开始辅助电极通过在放电开始辅助电极板上形成碳纳米管层而在短时间内触发放电。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 电离 真空计 真空 处理 设备 放电 开始 辅助 电极 | ||
【主权项】：
一种冷阴极电离真空计，所述冷阴极电离真空计包括：阳极；阴极，所述阴极被布置成与所述阳极一起形成放电空间；以及放电开始辅助电极，所述放电开始辅助电极被布置在所述放电空间中，并且被电连接至所述阳极和所述阴极中的至少一方，并且包括碳纳米管层。
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