[发明专利]一种基于微桥谐振器的新型红外探测器结构及制作方法无效
| 申请号： | 201010146063.X | 申请日： | 2010-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN101872797A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 韩建强;李青;王小飞 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | H01L31/09 | 分类号： | H01L31/09;H01L31/18;G01J5/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微桥谐振器的新型红外探测器的结构及制作方法。该红外探测器由微细加工技术制作的微桥1、具有负电阻温度系数的激励电阻2和检测元件3、金属引线4和衬底5组成。入射红外辐射的热效应使得具有负电阻温度系数的激励电阻2阻值下降。保持加载在激励电阻2上的电压恒定，激励电阻2阻值的下降将使激励功率的静态分量增大，等效于增加了红外辐射的功率。本发明所涉及的基于微机械桥型谐振器的非制冷红外探测器的输出量为谐振频率，受电路噪声影响很小，具有极高的探测率和响应率，易于实现阵列化和系统集成，大批量生产成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 谐振器 新型 红外探测器 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
基于微桥型谐振器的非制冷红外探测器，其特征在于：微桥谐振器由微细加工技术制作的微桥1、具有负电阻温度系数的激励电阻2、检测元件3、金属引线4和衬底5组成。。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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