[发明专利]一种槽式多晶硅湿法制绒设备

摘要

一种槽式晶体硅湿法制绒设备，包括底部设有排液口的反应槽，注有药液的反应槽的底部设有二级注液管，该二级注液管经一级注液管同药液循环泵的出液口连通，该泵的进液口经输液管路同反应槽连通；反应槽的二级注液管上方装有液体匀流板，在二级注液管和液体匀流板之间装有二级毛细冷凝管，二级毛细冷凝管经一级冷凝管及串接在一级冷凝管中的制冷液循环泵、注有制冷液的冷却水箱组成制冷液循环系统；设有控制器的压缩制冷装置的蒸发器位于冷却水箱的制冷液中。可使反应槽内所有硅片表面的药液浓度和温度分布均匀，能有效改善制绒效果，降低反射率，提高产品质量。

主权项

一种槽式多晶硅湿法制绒设备，包括底部设有排液口的反应槽(2)，其特征是，注有药液的反应槽(2)的底部布置有二级注液管(4)，该二级注液管(4)顶部开有可向上喷出药液的多个小孔，所述二级注液管(4)经反应槽外的一级注液管(3)同药液循环泵(13)的出液口连通，药液循环泵(13)的进液口经输液管路(1)同反应槽(2)连通；反应槽(2)的二级注液管(4)上方装有液体匀流板(12)，在二级注液管(4)和液体匀流板(12)之间装有二级毛细冷凝管(6)，该二级毛细冷凝管(6)经反应槽(2)与冷却水箱(7)之间的一级冷凝管(5)及串接在一级冷凝管(5)中的制冷液循环泵(11)、注有制冷液的冷却水箱(7)组成制冷液循环系统；设有控制器(9)的压缩制冷装置(8)的蒸发器(10)位于冷却水箱(7)的制冷液中。