[发明专利]一种使用汞灯光源的光刻照明装置无效
| 申请号： | 201010146641.X | 申请日： | 2010-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN102221785A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 韩雨青 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种使用汞灯光源的光刻照明装置，包括：一汞灯光源；一反光碗，用来会聚汞灯的光能；一光瞳整形装置，用来产生连续可变的光瞳和转换照明模式；一匀光器件，以获得更好的照明均匀性；一聚光系统；一汞灯位置调节装置，通过移动汞灯的位置，改变汞灯光源发出的光线的相干因子；获得所需要的照明场。本发明提供的照明装置，可以使用更少元件简单的转换照明模式和照明相干因子，并且不需要更换元件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 灯光 光刻 照明 装置 | ||
【主权项】：
一种使用汞灯光源的光刻照明装置，其特征在于包括：一汞灯光源；一反光碗，用来会聚汞灯的光能；一光瞳整形装置，用来产生连续可变的光瞳和转换照明模式；一匀光器件，以获得更好的照明均匀性；一聚光系统；一汞灯位置调节装置，通过移动汞灯的位置，改变汞灯光源发出的光线的相干因子，获得所需要的照明场。
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