[发明专利]一种原位合成A1N/A1电子封装材料的方法无效
申请号: | 201010147925.0 | 申请日: | 2010-04-15 |
公开(公告)号: | CN101829784A | 公开(公告)日: | 2010-09-15 |
发明(设计)人: | 朱明;王明静;王志华;王晓刚;杜双明;陈伟 | 申请(专利权)人: | 西安科技大学 |
主分类号: | B22F3/16 | 分类号: | B22F3/16 |
代理公司: | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人: | 谭文琰 |
地址: | 710054 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种原位合成AlN/Al电子封装材料的方法,将一定摩尔比的Al粉和NH4Cl均匀混合后,在20~30MPa压力下模压成型,再在200~400MPa压力下冷等静压成型,将干压成型后的生坯放入热压烧结炉中,预抽真空后关闭热压烧结炉的真空阀,通入N2使炉内气压回升到常压,在700~1000℃的温度下烧结制成AlN/Al复合材料。本发明的优点为:本发明所制备的AlN/Al复合材料中AlN为原位合成,与金属Al具有很好的界面结合;原料来源广、价格便宜,AlN的体积分数可以通过NH4Cl的添加量来控制;所制备的AlN/Al复合材料的热导率高,热膨胀系数与Si接近,完全能够满足电子封装的要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 原位 合成 a1n a1 电子 封装 材料 方法 | ||
【主权项】:
一种原位合成AlN/Al电子封装材料的方法,其特征在于,合成过程为:将摩尔比为3~6∶1的Al粉和NH4Cl粉均匀混合后,先在20~30MPa压力下模压成型,再在200~400MPa压力下冷等静压成型,将冷等静压成型后的生坯放入石墨模具中,随后放入热压烧结炉中,预抽真空至0.05Pa后关闭热压烧结炉的真空阀,通入氮气使热压烧结炉内气压回升至常压,升温700~1000℃烧结,烧结过程中施加20~40MPa的压力,保温60~120分钟,随炉冷却后即制成AlN/Al复合材料。
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