[发明专利]一种低频三自由度隔振器有效
| 申请号： | 201010149413.8 | 申请日： | 2010-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN101832352A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;徐登峰;汪劲松;李强;张鸣;尹文生;杨开明;纪春华;许岩;田丽 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | F16F6/00 | 分类号： | F16F6/00;F16F9/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市10*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种低频三自由度隔振器，涉及一种用于精密领域、IC(集成电路)制造领域或光学领域上的一种隔振设备。该隔振器由空气弹簧和一对空心筒状永磁体构成，外空心筒状永磁体固定在空气弹簧主体的顶部，内空心筒状永磁体固定在空气弹簧的橡胶活塞上，实现振动隔离。本发明可同时实现多自由度的低频隔振，且具有良好的低频隔振效果。本发明具有组件少、机械磨损小，成本低、使用寿命长及精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低频 自由度 隔振器 | ||
【主权项】：
一种低频三自由度隔振器，其特征在于：所述的低频三自由度隔振器包括空气弹簧、内空心筒状永磁体(2)和外空心筒状永磁体(3)，所述的空气弹簧包括空气弹簧主体(1)和橡胶活塞(8)，所述的含有空气弹簧主体由上腔室(6)、下腔室(7)和与上下腔室连通的节流孔(5)；所述的内空心筒状永磁体和外空心筒状永磁体同轴布置，外空心筒状永磁体固定在空气弹簧主体的顶部，内空心筒状永磁体固定在所述的橡胶活塞上，且两个空心筒状永磁体同极相对，径向磁化。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010149413.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
