[发明专利]喷涂系统及方法有效
| 申请号： | 201010149496.0 | 申请日： | 2010-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN102059197A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 薛家皓;赵元俊;邓国星;陈朝祯 | 申请（专利权）人： | 采钰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/06 | 分类号： | B05C11/06;B05C11/10;B05B13/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 姜燕;邢雪红 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种喷涂系统及方法。本发明的喷涂系统包括一旋转支持构件，用以支持及旋转基板；一喷涂器，用以涂布一材料至基板的上表面；一杯状结构，围绕旋转支持构件的侧边及底部区域，且杯状结构的顶部具有一开口；一气体供应装置，用以提供多个气流至基板的下表面以防止材料附着至基板的下表面；以及一排气装置，设置于杯状结构的一倾斜表面下方，用以排除气流及材料。 | ||
| 搜索关键词： | 喷涂 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种喷涂系统，包括：一旋转支持构件，用以支持及旋转一基板；一喷涂器，用以涂布一材料至该基板的上表面；一杯状结构，围绕该旋转支持构件的侧边及底部区域，其中该杯状结构的顶部具有一开口；一气体供应装置，用以提供多个气流至该基板的下表面以防止该材料附着至该基板的下表面，以及一排气装置，设置于该杯状结构的一倾斜表面下方，用以排除所述多个气流及材料。
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