[发明专利]沉积蒸发源无效
| 申请号： | 201010149799.2 | 申请日： | 2010-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN102212784A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 雷智;邹志杰 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧霁晨;李家麟 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种沉积蒸发源，其包括加热装置，加热板和蒸发材料，其中该加热板上设置有多个凹槽，且配置该加热板上的多个凹槽使得位于该加热板中心部分的凹槽的体积之和小于位于该加热板边缘部分的凹槽的体积之和，其中该蒸发材料被放置于该凹槽内。根据本发明的沉积蒸发源能够有效地解决由衬底表面的温度不一致而导致沉积薄膜的沉积厚度不一致的问题。根据本发明的沉积蒸发源能够实现了衬底表面上沉积薄膜的均匀一致，从而获得高品质的沉积薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 蒸发 | ||
【主权项】：
一种沉积蒸发源，包括：加热装置；加热板，放置于所述加热装置上方；和蒸发材料，放置于所述加热板上，其特征在于，所述加热板上设置有多个凹槽，且配置所述加热板上的多个凹槽使得位于所述加热板中心部分的凹槽的体积之和小于位于所述加热板边缘部分的凹槽的体积之和，其中所述蒸发材料被放置于所述凹槽内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司，未经无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010149799.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：阀
- 下一篇：车辆的再生制动控制装置
- 同类专利
- 专利分类
