[发明专利]碳化钛和/或氮化钛膜层的退除液及退除方法无效
| 申请号： | 201010150010.5 | 申请日： | 2010-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN102220133A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 黄巍;宫红丽 | 申请（专利权）人： | 深圳富泰宏精密工业有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种碳化钛和/或氮化钛膜层的退除液，该退除液为含有酸及加速剂、促进剂和缓蚀剂的水溶液，其中所述酸为有机酸或无机酸，该酸的浓度为90～1000g/L；该加速剂为含氟离子的酸或者盐，该加速剂的浓度为70～500g/L；该促进剂为醇胺类有机化合物，该促进剂的浓度15～200g/L；该缓蚀剂为硫脲、硫脲的衍生物及尿素中的一种或者几种的组合，该缓蚀剂的浓度为2～8g/L。本发明还提供一种碳化钛和/或氮化钛膜层的退除方法，该方法包括将碳化钛和/或氮化钛膜层与退除液接触，其中该退除液为本发明提供的上述退除液。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化 氮化 钛膜层 方法 | ||
【主权项】：
一种碳化钛和/或氮化钛膜层的退除液，其特征在于：该退除液为含有酸及加速剂、促进剂和缓蚀剂的水溶液，其中所述酸为有机酸或无机酸，该酸的浓度为90～1000g/L；该加速剂为含氟离子的酸或者盐，该加速剂的浓度为70～500g/L；该促进剂为醇胺类有机化合物，该促进剂的浓度15～200g/L；该缓蚀剂为硫脲、硫脲的衍生物及尿素中的一种或者几种的组合，该缓蚀剂的浓度为2～8g/L。
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