[发明专利]一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计有效
| 申请号： | 201010151636.8 | 申请日： | 2010-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN101819215A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 金仲和;胡世昌;张霞;朱辉杰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;B81B7/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 陈昱彤 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计，属于微机械惯性传感器领域。在该加速度计的敏感方向上分布有用来调节弹性系数的电调谐变面积电容，所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其中，所述可动电极的正表面为矩形且固定电极的正表面为三角形或锯齿形，或者所述可动电极的正表面为三角形或锯齿形且固定电极的正表面为矩形；所述三角形正表面仅与所述矩形正表面的一条长边交叠。本发明通过其敏感方向上分布的用来调节弹性系数的电调谐变面积电容调节弹性系数，使同批次加速度器件性能趋于一致，甚至等于0，从而获得高灵敏度的MEMS加速度计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弹性 系数 可调 微机 械梳状栅 电容 加速度计 | ||
【主权项】：
一种弹性系数可调的微机械梳状栅电容加速度计，其特征是：在加速度计的敏感方向上分布有用来调节弹性系数的电调谐变面积电容，所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其特征是：所述可动电极的正表面为矩形且固定电极的正表面为三角形或锯齿形，或者所述可动电极的正表面为三角形或锯齿形且固定电极的正表面为矩形；所述三角形正表面仅与所述矩形正表面的一条长边交叠。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010151636.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种超市无源电子价签显示系统
- 下一篇：一种基于射频门的RFID性能测试装置
