[发明专利]用于氢化物或氯化物气相外延制备氮化镓的尾气过滤器

摘要

本发明用于氢化物或氯化物气相外延制备氮化镓的尾气过滤器，涉及专门用于把弥散粒子从气体中分离出来的采用刚性空心滤体的粒子分离器，由外壳、堵塞物、隔离网、筛网和夹具构成，外壳是圆柱形的中空水套，堵塞物是卷成圆柱状不锈钢网或不锈钢丝的球状物，隔离网是由不锈钢丝制成，筛网是6～10层耐腐蚀金属丝网，堵塞物直接放置在过滤器进气口一端的外壳内部，隔离网直接放置在外壳内部位于堵塞物与夹具之间的位置，筛网分层安置在过滤器出气口一端，通过夹具固定在外壳内部。本发明降低甚至消除氢化物或氯化物气相外延制备氮化镓过程中产生的氯化铵粉尘、镓蒸气和氯化镓蒸气，保护了操作人员、环境和真空泵，优化生产工艺和氮化镓的生长质量。

主权项

用于氢化物或氯化物气相外延制备氮化镓的尾气过滤器，由外壳、堵塞物、隔离网、筛网和夹具构成，其中外壳是长500mm、外径400mm和内径360mm的圆柱形的中空水套，该外壳中空水套空腔的外径为390mm和内径为370mm，外壳一端为过滤器进气口，另一端为过滤器出气口，靠过滤器进气口一端有一个外壳中空水套出水口，靠过滤器出气口一端有一个外壳中空水套进水口，过滤器进气口的直径为360mm，过滤器出气口的直径为100mm，外壳中空水套出水口和外壳中空水套进水口的直径均为15mm，堵塞物是卷成圆柱状的孔径为10目的不锈钢型号为314的不锈钢网或不锈钢型号为314的不锈钢丝的球状物，该堵塞物总体的长为300mm，直径为358mm，隔离网是由直径1mm的不锈钢型号为314的不锈钢丝制成，该隔离网的孔径为1目，厚度为1mm，直径为358mm，筛网是孔径为200～400目的不锈钢型号为314的不锈钢丝网制成的耐腐蚀金属丝网，该筛网共6～10层，每层的厚度为0.5mm，直径为350mm，堵塞物直接放置在距离过滤器进气口一端10mm处的外壳内部，隔离网直接放置在外壳内部位于堵塞物与夹具之间的位置，筛网分层安置在距离过滤器出气口一端20mm的外壳内部，每层筛网之间的距离为15mm，所有筛网通过夹具固定在外壳内部。