[发明专利]制造太阳能电池的薄膜沉积处理组件、系统及清洗方法

摘要

公开了一种用于制造太阳能电池的薄膜沉积处理系统，尤其是一种用于制造太阳能电池的、能够在太阳能电池的晶硅片的表面上形成诸如防反射膜的薄膜的薄膜沉积处理系统，以及一种清洗用于制造太阳能电池的薄膜沉积处理组件的方法。该用于制造太阳能电池的薄膜沉积处理组件包括：真空室，形成密封处理空间；托盘支承单元，安装于所述真空室内，用于支承其上装载有多个用于太阳能电池的晶体硅基片的托盘；喷头单元，安装于所述真空室的上方，用于将气体喷射到所述处理空间中；以及等离子产生器，用于从所提供的用于清洗所述真空室的清洗气体产生等离子。

主权项

一种用于制造太阳能电池的薄膜沉积处理组件，所述组件包括：真空室，其形成密封处理空间；托盘支承单元，其安装于所述真空室内，用于支承其上装载有多个用于太阳能电池的晶体硅基片的托盘；喷头单元，其安装于所述真空室的上方，用于将气体喷射到所述处理空间中；以及等离子产生器，用于从所提供的用于清洗所述真空室的清洗气体产生等离子。