[发明专利]新型散热器件及其制造方法有效
申请号: | 201010153256.8 | 申请日: | 2010-04-14 |
公开(公告)号: | CN101853822A | 公开(公告)日: | 2010-10-06 |
发明(设计)人: | 钱涛 | 申请(专利权)人: | 星弧涂层科技(苏州工业园区)有限公司 |
主分类号: | H01L23/373 | 分类号: | H01L23/373;H01L21/48;H01L33/64 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 陆明耀;陈忠辉 |
地址: | 215022 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种通过在磁控溅射和离子束技术,在金属基材上实现含金属铬的多层DLC涂层,从而实现高导热之性能。利用该高导热性DLC涂层制备的新型散热器件,包括与热源抵接的导热件以及与所述导热件固接的散热翅片,所述导热件由金属基材和沉积于所述金属基材之上的高导热性涂层组成。本发明的有益效果主要体现在:本发明类金刚石(DLC)涂层具有高导热性,用其制备的新型散热器导热、散热性能佳且不具有导热方向限制。 | ||
搜索关键词: | 新型 散热 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种新型散热器件,包括:与热源抵接的导热件(7)以及与所述导热件(7)固接的散热翅片(8),其特征在于:所述导热件(7)由金属基材和沉积于所述金属基材之上的高导热性涂层组成,所述高导热性涂层包括两层类金刚石涂层,所述第一层类金刚石涂层(3)与金属基材(1)之间设有起固附作用的第一铬涂层(2),所述两层类金刚石涂层(3、5)之间设有用于热传导的第二铬涂层(4)。
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