[发明专利]具有快速调零系统的白光干涉仪

摘要

本发明公开了一种具有快速调零系统的白光干涉仪。在白光干涉仪的光路中加入如下系统，即由可调谐激光器所发出的激光经扩束镜扩束后通过装在准直系统后的第三分光镜和第一分光镜并入光路；在会聚透镜和相机之间设置对长波完全反射的二向色镜，探测器的一端接收二向色镜的反射光，另一端经过AD/DA卡与计算机连接。本发明通过采用波长扫描干涉测长实现白光干涉仪的零程差调整，通过分析白光干涉条纹的间隔得到被测表面的倾角，进而实现自动调节。由于上述环节无需大数据量运算，可以将白光干涉仪的调整时间降低到二十秒左右，极大地改善白光干涉仪的检测效率。本发明尤其适用于那些需要分别测量各个位置并进行拼接的大面积表面或者圆周面。

主权项

一种具有快速调零系统的白光干涉仪，白光光源的白光经可移除窄带滤光片(17)、孔径光阑(16)、视场光阑(15)和准直系统准直后的平行光，经第一分光镜(7)反射进入显微镜物镜(10)，被第二分光镜(12)分成两束，一束打在参考反射镜(14)上，另一束打在被测表面(11)上，两束光在第二分光镜(12)上发生干涉后，经会聚透镜进入CCD相机(4)，经图像采集卡(22)与计算机(1)连接；安装在显微物镜上的压电陶瓷(9)和精密平移台(8)分别经AD/DA卡(2)与计算机(1)连接；其特征在于：由可调谐激光器(21)所发出的激光经扩束镜(20)扩束后通过装在准直系统后的第三分光镜(19)并入光路；在会聚透镜和相机之间设置对长波完全反射的二向色镜(6)，探测器(5)的一端接收二向色镜(6)的反射光，另一端经过AD/DA卡(2)与计算机(1)连接。