[发明专利]压电体元件和陀螺仪传感器

摘要

本发明的技术问题是提供具有在无应力状态下能够对压电体膜进行成膜的压电体元件和陀螺仪传感器。压电体膜包含a轴取向晶体和c轴取向晶体，a轴取向晶体的晶格常数和c轴取向晶体的晶格常数之差为0.06以内。本发明人新发现了：在满足a轴取向晶体的晶格常数和c轴取向晶体的晶格常数之差为0.06以内的条件的时候，能够将压电特性维持在良好的特性值，并且能够减少积蓄在压电体膜内部的应力。可以认为：在满足上述条件的情况下，由于对c轴取向晶体和a轴取向晶体作适度平衡，因而压电体膜的晶体颗粒在理想的状态下被最密地填充于基底上，这有助于应力的降低。

主权项

1.一种压电体元件，其特征在于：是一种在下部电极与上部电极之间具备压电体膜的压电体元件，所述压电体膜包含a轴取向晶体和c轴取向晶体，所述a轴取向晶体的晶格常数和所述c轴取向晶体的晶格常数之差为以内。